电子制造业厂洁净室检测要求洁净度等级、风量、温度、湿度、压差、设备排风等按需要进行控制。洁净室的照度和截面风速按设计或规范控制。另外,这类洁净室对静电的要求非常高。严格的。其中,对湿度的要求更为严格。因为在过于干燥的厂房内容易产生静电,会损坏CMOS集成度。一般来说,电子车间的温度应控制在22℃左右,相对湿度应控制在50-60之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。此时,能有效消除静电,让人心情舒畅。芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间是电子制造洁净室的重要组成部分。由于电子产品制造和生产过程中对室内空气环境和质量的严格要求,主要目的是控制颗粒物和浮尘。作为主要对象,对环境的温湿度、新风量、噪音等也有严格的规定。
1、电子制造厂万级洁净室噪声级(空态)不应超过65dB(A)。
2、电子制造厂洁净室满布比垂直流洁净室不宜低于60,水平单向流洁净室不宜低于40,否则会偏单向流。
3、洁净室与电子制造厂房外的静压差不应小于10Pa,洁净区与不同空气洁净度的非洁净区的静压差不应小于或大于5Pa。
4、电子制造业万级洁净室新风量取下列两项中较大值:
(1)补偿维持室内正压值所需的室内排风量和新风量之和。
(2)洁净室每人每小时新风量不应少于40立方米。
(3)电子制造行业洁净室净化空调系统的加热器应设有新风和超温断电保护。如果采用点加湿方式,则无需设置水保护。在寒冷地区,新风系统应有防冻保护措施。洁净室的送风量应取以下三个较大值:保证电子制造厂洁净室空气洁净度等级的送风量;根据热湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;房间内供应的新鲜空气量。