洁净室检测应该如何选择合适的粒子计数器?
洁净室粒子计数器的成本和功能因粒子阈值而异。那么如何判断是否需要购买粉尘粒子计数器或者购买什么类型的粒子计数器呢?
粒子计数器是测试单位体积内粉尘粒子数量和粒度分布的仪器。粒子计数器分为三大类:气溶胶、液体和固体,但气溶胶粒子计数器与洁净室直接相关,因此我们将重点关注它们。
气溶胶粒子计数器通过计算和确定空气中粒子的大小来确定空气质量。它们主要用于洁净室应用。由于洁净室有规定的颗粒计数限制,因此使用气溶胶颗粒计数器对洁净室进行测试和分类,以确保它们符合标准。
目前常用的气溶胶粒子计数器有两种类型:光学式和冷凝式。
使用光学粒子计数器,粒子通过高能光源,然后测量散射或阻挡光的大小并对粒子进行计数。光学粒子计数器有几种检测和测量粒子的方法,它们是阴影法、光散射法和直接成像法。大于微米的颗粒可以通过显色方法检测,该方法基于颗粒通过光源时被阻挡的光量。光散射方法可以检测较小的颗粒,并且基于被光源发出的光重定向的光量。
另一种冷凝粒子计数器是一种检测气溶胶粒子并记录粒子数量的计数器。使用微小颗粒作为成核中心,饱和蒸汽在颗粒上凝结并生长,形成更大的液滴,以便于检测和记录。冷凝粒子计数器能够检测尺寸为 2 nm 或更大的粒子。这一点尤其重要,因为使用传统光学技术通常无法检测到尺寸小于 50 nm 的颗粒。