在检测洁净室的洁净度时,虽然规定了空气的最小采样量,但在实际工作中,我们可以在保证最小采样量的前提下,根据现有的检测设备,尽可能采用大流量的尘埃颗粒体积,这样的检测结果会更加科学合理。
1、检测仪器的选择
洁净室洁净度的测量可以使用净化工程光散射粒子计数器、凝结粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但目前使用最多的是光散射粒子计数器。 由于这种粒子计数器在使用过程中能自动、连续、及时地测量室内空气的含尘量,并能直接显示瞬时粉尘浓度,还可以测量不同粒径的粉尘浓度,简单、方便、及时并且使用灵活。 . 计数器大致可分为两种类型:一种是侧散射型,照明系统和检测系统的光轴交叉排列; 另一种是两个光轴在同一直线上的前向散射型。
2、净化车间洁净度检测取样量
关于尘埃粒子计数器检测时的空气采样量,国家标准GBJ73-84规定:对于100级洁净室,每次采样量应大于或等于1L,对于1000~ 10000,每次取样的体积应大于或等于 0.3L。 对于万级洁净室,每个样品的体积应大于或等于0.1L。
百级无尘车间宜采用高流量粒子计数器进行检测。 如果没有,也应使用每个样品采样量不少于 1L 的粒子计数器。
在检测洁净室的洁净度时,虽然规定了空气的最小采样量,但在实际工作中,我们在保证最小采样量的前提下,根据现有的检测设备,尽可能采用大流量粉尘粒子计数器。
3、检测点的布置
根据国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:检测洁净室洁净度时,检测点应在距离室内地面1.00m以内; 2.0 米。 水平单向流量测点仅布置在一级洁净室工作区内; 非单向流洁净室按洁净室面积小于或等于50m2设置5个测点。
4.关于等速采样的问题
所谓等速采样,是指在检测过程中,粒子计数器采样管的进气方向与被采样的单向气流方向一致,空气进入采样管入口的平均速度相同作为该位置单向气流的平均速度。
因为我们在净化工程的检测中主要关心两个粒径,即0.5um和5um。 非等速采样对≤0.5um的颗粒影响不大。 如果用采样空气计算大于或等于0.5um的粒径浓度,如果这些粒子不受非等速条件的影响,则计算结果不受影响。 因此,洁净室区域的非等速采样仅对大于或等于0.5um的颗粒有意义。