洁净室洁净度的维护和控制不仅需要硬件设备的投入，更需要良好的管理制度来保持良好的洁净度。
一、污染源
洁净室的污染源可分为外部污染源和内部污染源。 外来污染源主要包括空调送风、缝隙渗入、建筑物、工作服、风管材料、供水、溶剂等； 内部污染源包括生产设备、人员、工具、加工制造、工作台面、包装材料等。
二、污染源控制的基本原则如下：
1、防止外界灰尘侵入
洁净室内应保持适当的正压（>5Pa）； 做好施工的气密性； 人员、设备和原材料进入洁净室前应进行清洁和防尘处理，做好空气过滤器的管理和设置。
2、防止室内扬尘
主要控制：无尘室的墙、地板等无尘室材料的适当选用、制造设备的发尘控制、洁净室内的员工管理、洁净服的管理、使用洁净室专用器件等。
3、室内灰尘不堆积
墙面要光滑去除死角，洁净室需要定期维护和清洁，设备周围要有空间。
4、及时清除太空尘埃颗粒
换气次数要充足，空间布局要适当，污染源到排风、空调的风量要适当。
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