万级洁净室应该如何进行洁净室检测?
万级洁净室检测标准主要包括:
1、气流速度及其均匀性测试是洁净室有效性其他测试的前提。 该测试的目的是揭示单流洁净室工作区域内的平均气流及其均匀性。
2、振动检测的目的是确定洁净室内各显示器的振动幅度。
3、通过获取自清洁时间,可以查看污染发生时洁净室是否能恢复到原来的洁净度。
4、照度检测的目的是确定洁净室内的照度水平和照度均匀度。
5、温湿度检测的目的是为了能够将温度和湿度调节到一定的限度内。 内容包括洁净室送风温度检测、代表测点空气温度检测、洁净室中心点空气温度检测、传感元件空气温度检测、相对温度检测室内空气和回风温度传感。
6、洁净度检测是测量在洁净环境下所能达到的空气洁净度,可用粒子计数器检测。