洁净室是指去除一定空间内空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，并控制室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声和振动、照明和静电. 在一定的需求范围内专门设计的房间。也就是说，无论外部空气状况如何变化，内部都可以保持原先设定的清洁度、温度、湿度和压力等特性。
洁净室的主要作用是控制产品（如硅片等）所接触的大气的洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响，
粒径小于0.3微米的颗粒数量控制在每立方米3500个以下，达到国际无尘标准A级。目前芯片级生产加工采用的无尘标准对粉尘的要求比A级要高，这样高的标准主要用在一些更高级别芯片的生产上。0.5uM及以下的粉尘颗粒数严格控制在每立方米1000个以内，业内俗称1K级。
无尘室状态分为以下三种
空置状态：已建成并可供使用的洁净室（设施）。它具有所有相关的服务和功能。但是，设施内没有操作员操作的设备。
静态：功能齐全、设置正确、安装合理、可按设置使用或在用的洁净室（设施），但设施内无操作人员。
动态：在正常使用的洁净室内，服务功能齐全，配备设备和人员；如果需要，可以进行正常工作。
二、洁净室原理
单向流（层流）洁净室原理
[1] 无尘室内，从送风口到回风口，途中气流的横截面几乎没有变化。除了进风静压箱和高效过滤器的均压作用外，整个房间横截面上的流量比较均匀。，并且至少在工作区，流线是单向平行的，没有涡流。这是单向流洁净室的三大特点。这里的流线是单向平行的，这意味着时间平均的流线彼此平行并且具有单一方向。
单向流洁净室的流动状态从雷诺数看是湍流，所以所谓层流洁净室中的层流和流体力学中的层流是完全不同的概念。因此，层流洁净室一词是不恰当的，国外的一些标准和文章也指出了这一点。例如，英国标准BS-5295曾将所谓的层流洁净室定义为单向流洁净室。层流在括号中表示。原联邦德国标准VDl-2083使用“非湍流置换流”一词，并在注释中指出层流的概念只是为了区分比层流更早出现的湍流（turbulent）流洁净室整理房间。在当时使用的成语中，“层流系统”的确切含义不是分层流，而是湍流的置换流。本章提到的概念是湍流的渐进流。在流体力学中，这种流动状态也可以称为平行流动或单向流动。1977年，我国在《清洁空气技术措施》中选择了“平行流”一词，并指出习惯上在该词后称其为“层流”。
在单向流洁净室中，洁净气流不是一股或几股，而是充满整个房间截面，所以这种洁净室不依靠洁净气流对室内脏空气的混合稀释作用，而是依靠在干净的气流上推出效果。室内脏空气沿整个断面排到室外，达到净化室内空气的目的。因此，前联邦德国有人将单向流洁净室的气流称为“塞流”、“塞流”，前苏联则称其为“挤压弱气流”。洁净的空气就像一个空气活塞，沿着房间的“气缸”向前（向下）推动，使尘粒只能向前（向下）移动而不能返回，
在单流洁净室和单流净化设备中，逆向气流可以沿着墙壁和两个过滤器的重叠部分下方出现。这种气流会将污染从底部传送到顶部，然后向下传送，破坏上述“塞流”状态，危害极大。对于有开口与外界相连的局部净化设备，如洁净工作台，这种气流会导致外部污染气流。在设计中，必须减少滤框占用的无效面积，减少空间的壁面。尽可能靠近过滤器的有效风截面。
通过以上分析可以认为，保证单向流洁净室的特性（高洁净度和快速自洁恢复能力）有两个重要前提：①进流洁净度；② 来流的活塞流；
对于进流的洁净度，通过高效过滤器送风的单向流洁净室不是问题，但是对于进流的“塞流”情况，还需要进一步分析。
根据流体力学原理，来流条件将对未来的流动条件产生直接而重要的影响。
如果来流湍流较大，会影响单向流特性；如果来流没有充满流段，会影响“塞流”能否形成，影响形成速度；流动性的一个因素。因此，在使用高效过滤器的条件下，保证单向流洁净室特性的必要条件是“塞流”，而“塞流”的必要条件是来流充满流段。然而，气流从开始到结束完全充满房间的流动部分而不是管道的一部分也是不切实际的。
最初，人们认为这种单向、平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术和经济上都是不利的。随着知识的发展，人们指出这种单向流动只是“意味着所有的空气在有限的区域内沿着平行的流线匀速流动”，相信涡流的发生可以被尽可能的抑制。尽可能。以通过整个空间的洁净空气的单向流动特性为主的房间也称为单向流动洁净室。也就是说，不需要在整个房间内有单向平行流线、匀速、无涡流，而只需要单向平行流特性来支配房间，例如 整个工作区水平空间保证单向流动，本房间为单向流动洁净室。前面介绍的国内外相关标准和措施中单向流洁净室所达到的高洁净度是指工作区域所达到的洁净度。因此，密集布置的流线型扩压器顶部进料和全孔板顶部进料也被用作实现垂直单向流动的手段。
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